年度	2006
計畫類別	研究計畫
計畫名稱	低氣壓射頻電容式耦合電漿源之模擬及實驗研究
參與人	吳宗信
職稱/擔任之工作	計畫主持人
計畫期間	2006.08 ~ 2007.07
補助/委託或合作機構	國科會
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語言	中文