年度	2019
全部作者	陳清榮(2023年退休),Chen, C. L. and Yao, J.
論文名稱	Damping Control of MEMS Devices Using Structural Design Approach
會議名稱	Proceeding of Solid-State Sensor & Actuator Workshop
地點	Hilton Head Island, US
會議期間	1996/01/02-06
論文等級	EI
作者類別	First Author
語言	英文