年度	2016
全部作者	鍾添淦*、葉柏辰、王傑民
論文名稱	以磁力致動之壓電式微機電磁感測器
會議名稱	第20屆奈米工程暨微系統技術研討會
地點	新竹市, 台灣
會議期間	2016/08/25-26
主辦單位	工業技術研究院、國立清華大學、中華民國微系統暨奈米科技協會
作者類別	Corresponding Author
著作人數	3
語言	中文