年度	2018
全部作者	鍾添淦*,段皓
論文名稱	三軸磁力式微機電壓電之磁感測器之階梯式連續濕式蝕刻製程開發
會議名稱	2018國際智慧感測器研討會暨 第23屆台灣化學感測器科技研討會
地點	台北深坑
語言	中文