年度	2008
全部作者	陳宗麟,C-Y Tsai, W-T Kuo, C-B Lin and T-L Chen
論文名稱	"Design and fabrication of MEMS logic gates,"
期刊名稱	Journal of Micromechanics and Microengineering
卷數	vol. 18
頁碼	045001-
語言	中文