年度	2005
全部作者	徐瑞坤（2016年退休）,Keng-Liang Ou, Ray-Quan Hsu
論文名稱	"Comparative study of polycrystalline Ti, amorphous Ti and multi-amorphous Ti as a barrier film for Cu interconnect"
期刊名稱	Journal of Vacuum Science and Technology B(accepted)
卷數	vol.30(1)
頁碼	229-235
語言	中文