研究計畫

計畫類別 年度 計畫名稱 參與人 職稱/擔任之工作 計畫期間 補助/委託或合作機構
研究計畫 2011 以高分子作為感應偶合電漿反應離子蝕刻側壁保護層以製作單晶矽懸浮微結構之快速製程平台研發 徐文祥 計劃主持人 2011.01 ~ 2012.01 行政院國家科學委員會
2011 風洞試驗設備噪音防治 鄭泗東 2011.01 ~ 2011.12 國科會