年度	2008
計畫類別	研究計畫
計畫名稱	半導體微影覆蓋誤差先進製程批次控制開發研究(1/2)
參與人	李安謙
職稱/擔任之工作	計畫主持人
計畫期間	2008.08 ~ 2010.10
補助/委託或合作機構	國科會
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語言	中文